低介电常数聚有机硅涂料
聚有机硅电介质涂敷材料是通过将特定的聚碳硅烷接受加热或高能量处理产生具有低k介电性质的交联聚有机硅涂料来制备的。加热过程包括多阶段依次提高温度的加热步骤。所制备的聚有机硅聚合物能够用作电介质互连材料和膜涂层,用于半导体器件中导电布线。这些聚有机硅膜涂层还具有相对热稳定性和对基片表面的优异粘合性的附加特性。
聚有机硅电介质涂敷材料是通过将特定的聚碳硅烷接受加热或高能量处理产生具有低k介电性质的交联聚有机硅涂料来制备的。加热过程包括多阶段依次提高温度的加热步骤。所制备的聚有机硅聚合物能够用作电介质互连材料和膜涂层,用于半导体器件中导电布线。这些聚有机硅膜涂层还具有相对热稳定性和对基片表面的优异粘合性的附加特性。
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