光触媒体的制造方法和制造装置
本发明的光触媒体是具有由钛和氧的化合物组成的光触媒膜的光触媒体,上述光触媒膜呈多孔状,其表面的算术平均光洁度Ra与其厚度的比值大于等于O.02。而且,利用氧化钛的锐钛矿结构的x线衍射峰之间的强度比可以特定该光触媒体。这种多孔状光触媒体材料是采用反应性溅射,通过适当调节成膜速度、溅射压力、基板温度、氧分压等成膜参数而得到,具有良好的分解亲水特性。
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