太阳能选择性吸收涂层
本发明涉及一种太阳能选择性吸收涂层及其制备方法，该涂层由基底层Cu镜面反射膜、中间层A1NxOv干涉吸收膜和表面层A1N。x Ov C z减反膜三层结构组成，具有可见一近红处光谱高吸收率、红外光谱极低发射率和真空烘烤热稳定性，适用于中温(100—300)工作温度真空使用环境的全玻璃真空管和热管式真空管等应用领域，使该类太阳能真空集热管具有更低热损，更高热效率的优异特性，该涂层的制备采用三靶直流磁控溅射，镀膜反应气体由氮、氧、甲烷、乙炔等调控，溅射工况稳定，重复性好，适于全玻璃真空管和热管式真空管等生产性制备。
